1 | Maksimālais darba spiediens 20,6 Mpa. |
2 | Maks.darba temperatūra 204 ℃ (augstas temperatūras vide līdz 454 ℃, šajā laikā blīvējuma materiāls tiek aizstāts ar paplašinātu grafītu) |
3 | Filtru sistēma Ir piemērojami cieto daļiņu piesārņotāji, gāzes, šķidrumi. |
4 | Nerūsējošā tērauda pulvermetalurģijas saķepināta filtra filtra precizitāte 2μm ~ 40μm |
5 | Filtra plūsma 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | Filtru var mainīt. |
Filtra produkta īpašības
1 | Plašs pielietojuma diapazons, plūsmas diapazons no 15 līdz 300 SL / min. |
2 | Tam ir laba savietojamība ar lielāko daļu augstas tīrības pakāpes pusvadītāju procesa gāzu. |
3 | 3 nanodaļiņu filtrēšanas jauda saglabā augstu plūsmas efektivitāti un īpaši mazu spiediena kritumu. |
4 | 5Ra elektropulēta virsma var novērst iekšējo piesārņojumu. |
5 | Cep ar karstu slāpekli pēc dejonizēta ūdens, lai atbilstu pusvadītāju procesa standartiem. |
6 | 1000 līmeņa aseptiska ceha ražošanas, tīrīšanas un iepakošanas vide bez putekļiem. |
7 | Pārbaudiet 100% hēlija noplūdi. |
Ieplūde | Izvads | |
1 | 1/8″ caurules stiprinājums | 1/8″ caurules stiprinājums |
2 | 1/4″ caurules savienotājs | 1/4″ caurules savienotājs |
3 | 3/8 collu cauruļu stiprinājums | 3/8 collu cauruļu stiprinājums |
4 | 1/2″ caurules stiprinājums | 1/2″ caurules stiprinājums |
5 | 6 mm cauruļu stiprinājums | 6 mm cauruļu stiprinājums |
6 | 8 mm cauruļu stiprinājums | 8 mm cauruļu stiprinājums |
7 | 10 mm cauruļu stiprinājums | 10 mm cauruļu stiprinājums |
8 | 12 mm cauruļu stiprinājums | 12 mm cauruļu stiprinājums |
9 | 1/8″ sieviešu NPT | 1/8″ sieviešu NPT |
10 | 1/4″ sieviešu NPT | 1/4″ sieviešu NPT |
11 | 1/4″ vīriešu NPT | 1/4″ vīriešu NPT |
12 | 3/8″ vīriešu NPT | 3/8″ vīriešu NPT |
13 | 1/2″ vīriešu NPT | 1/2″ vīriešu NPT |
Filtra produkta veiktspējas parametri
1 | Filtrēšanas precizitāte | ≥0,0025 μm | |
2 | Filtrēšanas efektivitāte | Izņemšanas ātrums99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Nominālā plūsma | 15L/min | |
4 | 60L/min | ||
5 | 120L/min | ||
6 | 200L/min | ||
7 | 300L/min | ||
8 | Filtra sastāvs | filtra elements | 316L/PTFE |
9 | mājoklis | nerūsējošais tērauds 316L | |
10 | Darba apstākļi | Maksimālais ieplūdes spiediens | 21Mpa (310kgf/cm2) |
11 | Maksimālais diferenciālais spiediens | 15Mpa (153kgf/cm2) | |
12 | Maksimālā darba temperatūra | 430 ℃ (inertā gāze) | |
13 | Hēlija noplūdes ātrums | 1×10-9 atm.cc/sek | |
14 | Virsmas apdare | ≤Ra 5μin |