Astes gāzes apstrādes aprīkojums var apstrādāt gāzes, ko izmanto kodināšanas procesos un ķīmisko tvaiku nogulsnēšanās procesos, pusvadītāju, šķidru kristālu un saules enerģijas nozarē, ieskaitot SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, un, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, un tas.
Izplūdes gāzu apstrādes metode
Saskaņā ar izplūdes gāzu ārstēšanas īpašībām ārstēšanu var iedalīt četros ārstēšanas veidos:
1. Ūdens mazgāšanas tips (kodīgu gāzu apstrāde)
2. oksidēšanas tips (nodarbojas ar degošām un toksiskām gāzēm)
3. Adsorbcija (atbilstoši adsorbcijas materiāla veidam, lai rīkotos ar atbilstošo izplūdes gāzu).
4.plasma sadegšanas tips (var apstrādāt visu veidu izplūdes gāzes).
Katram ārstēšanas veidam ir savas priekšrocības un trūkumi, kā arī tā piemērošanas joma. Kad apstrādes metode ir ūdens mazgāšana, aprīkojums ir lēts un vienkāršs, un tā var rīkoties tikai ar ūdeni šķīstām gāzēm; Elektriskā ūdens mazgāšanas veida pielietojuma diapazons ir lielāks nekā ūdens mazgāšanas tipam, bet operācijas izmaksas ir augstas; Sausam tipam ir laba ārstēšanas efektivitāte, un tas nav piemērojams gāzes plūsmai, kuru ir viegli aizsērēt vai plūst.
Ķīmiskās vielas un to blakusproduktus, ko parasti izmanto pusvadītāju nozarē, var klasificēt pēc to ķīmiskajām īpašībām un dažādajiem diapazoniem:
1. Uzliesmojamas gāzes, piemēram, SIH4H2, utt.
2. Toksiskas gāzes, piemēram, Ash3, Ph3 utt.
3. Korozīvas gāzes, piemēram, HF, HCL utt.
4. Siltumnīcu gāzes, piemēram, CF4, NF3 utt.
Tā kā iepriekšminētās četras gāzes ir kaitīgas videi vai cilvēka ķermenim, tām ir jānovērš tās tiešā izstarošana atmosfērā, tāpēc vispārējā pusvadītāju iekārta tiek uzstādīta ar lielu centralizētu izplūdes gāzu attīrīšanas sistēmu, bet šī sistēma ir tikai ūdens berzēšanas izplūdes gāze, tāpēc to pielietojums ir ierobežots ar tālsatiksmes ūdensvadītāja gāzes gāzes procesu, kas tiek mainīts un smalks un smalks, un tas nav mainīgs un smalks, un tas nevar tikt mainīts un smalks, un semikozes gāzes sadalījums, un tā var tikt galā ar vienmērīgu un smalku semikozes sadalījumu, un tā var tikt mainīta un smalks, pusvadītāja izplūdes gāzu sadalījums. Tāpēc ir nepieciešams atlasīt un saskaņot atbilstošo izplūdes gāzu apstrādes aprīkojumu atbilstoši gāzes raksturlielumiem, kas iegūti no katra procesa, lai nelielā veidā atrisinātu izplūdes gāzu problēmu. Tā kā darba zona lielākoties atrodas prom no centrālās izplūdes gāzu attīrīšanas sistēmas, bieži vien gāzes raksturlielumu dēļ izkristalizācija vai putekļu uzkrāšanās cauruļvadā, kā rezultātā tiek aizsērēts cauruļvads, kas izraisa gāzes noplūdi, un nopietnos gadījumos pat izraisīt sprādzienu, nevar nodrošināt, ka vietnes personāla darba drošība. Tāpēc darba zonā ir jākonfigurē neliela izplūdes gāzu apstrādes iekārta, kas piemērota procesa gāzes īpašībām, lai samazinātu stagnējošo izplūdes gāzi darba zonā, lai nodrošinātu personāla drošību.
Pasta laiks: augusts-10-2023