Dažādām ķīmiskajām vielām un gāzēm, ko izmanto pusvadītāju ražošanā, ir nepieciešamas izturīgas šķidruma sistēmas, lai nepārtraukti piegādātu katrā ražošanas posmā. Šīm šķidruma sistēmām jāspēj atbalstīt ekstremālos procesa apstākļus, kas nepieciešami pusvadītāju ražošanai, vienlaikus nodrošinot tīru, bez noplūdi un kontrolētu procesu. Tāpēc šķidruma sistēmas komponentu izvēle ir kritiska precizitātes pusvadītāju ražošanas procesā.
Augstas kvalitātes šķidruma sistēmas komponentu izvēle ir sinonīms palielinātai ražošanas efektivitātei un samazinātai sistēmas dīkstāvei. Attiecībā uz pusvadītāju ražošanas procesu mēs apspriedīsim šķidruma sistēmas komponentu kritisko lomu un to uzticamības nozīmi.
Šķidruma sistēmas komponentu nozīme pusvadītāju ražošanā
Šķidruma sistēmas komponenti pusvadītāju ražošanā ietver dažādas ķīmiskas sajaukšanas, transportēšanas un kontroles sistēmas ķīmisko šķidrumu droša transportēšanai kontrolētā vidē. Ideālai šķidruma sistēmai ir:
➢ Vienveidīga ķīmiska sajaukšana
➢ Kontaminācijas kontrole
➢Temperatūra un spiediena kontrole
➢untvienota ķīmiskā piegāde
Tikai augstākās kvalitātes komponenti var nodrošināt šādus ideālus apstākļus pusvadītāju šķidruma sistēmā. Šādu komponentu izmantošanas priekšrocības ir:
Precīzi: tādi komponenti kā vārsti, regulatori un sūkņi darbojas vienlaikus, lai nodrošinātu, ka ražošanas šūnā tiek piegādāts pareizais ķīmiskās vielas īpatsvars. Precīzi izejvielas novērš plūsmas variāciju risku, kas uzlabo galaprodukta kvalitāti.
Saderība un tīrība: šķidruma sistēmas komponenti ar materiāla sastāviem, kas ir saderīgi ar procesa šķidrumiem, samazina piesārņojuma risku. Turklāt šo šķidruma sistēmas komponentu uzstādīšana bez noplūdes samazina daļiņu piesārņotājus, nodrošinot tīru un kontrolētu ražošanas vidi, lai uzlabotu ražu.
Drošība: gāzes un ķīmiskās vielas, ko izmanto pusvadītāju ražošanā, var būt kaitīgas cilvēku veselībai. Tomēr šķidruma sistēmas komponenti, kas paredzēti, lai novērstu noplūdes un noplūdes, droši un kontrolētā veidā var piegādāt šos šķidrumus ražošanas vienībām.
Efektivitāte: augstas kvalitātes šķidruma sistēmas komponentu konstrukcija, kas nesatur noplūdes un precīza kontrole, samazina darbības dīkstāves un biežās apkopes prasības, veicinot vienmērīgu, efektīvu ražošanu, lai sasniegtu ražošanas mērķus.
Kvalitatīvi ražoti šķidruma sistēmas komponentu risinājumi
Šķidruma sistēmas komponentiem ir vajadzīgas augstas kvalitātes instalācijas, lai risinātu pusvadītāju ražošanas izaicinājumus. Galvenās sastāvdaļas, kas ietekmē FAB, ietver:
Vārti: augstas veiktspējas vārsti, piemēram, diafragma, silfoni vai adatu vārsti, ideālā gadījumā regulē šķidruma plūsmu ražošanas iekārtās. Izturīgi, augstas kvalitātes vārsti nodrošina precizitāti un kontroli, kas nepieciešama, lai uzlabotu ražošanas un apstrādes procesu efektivitāti kritiskai pusvadītāju ražošanai.
Armatūra: Augstas tīrības stiprinājums cauruļu un šļūteņu sistēmām un citi kritiski komponenti nodrošina aizzīmogotus savienojumus, lai uzlabotu šķidruma sistēmas komponentu drošību un tīrību.
Šļūtenes: Precizitātes ražošanas prasībām izolētās šļūtenes palīdz siltuma pārvaldībā, lai procesa apstākļi ražošanas telpā varētu optimāli uzturēt. Tas ir svarīgi, jo vismazākās temperatūras svārstības var sabojāt mikroshēmas un izraisīt ražošanas atkritumus.
Elastīgas caurules: ja apstākļi to atļauj, elastīgu cauruļu var izmantot, lai samazinātu veidgabalu skaitu šķidruma sistēmas komplektā. Caurules ir saliektas, lai iegūtu vēlamo šķidruma ceļu. Mazāk veidgabalu nozīmē mazāku noplūžu un bojājumu risku vibrācijas un kustības dēļ.
Regulatori: regulatori efektīvi kontrolē spiedienu katrā pusvadītāju ražošanas procesa posmā. Pastāvīga un precīza plūsma sasniedz konsekventu, augstas kvalitātes ražu, vienlaikus izvairoties no izšķērdētām šķidruma ķimikālijām un speciāliem materiāliem.
Filtri: viena daļiņa var ietekmēt pusvadītāju veiktspēju. Īpaši augstas tīrības filtru izmantošana novērš daļiņu piesārņojumu un samazina mikroshēmas bojājumus.
Šķidruma sistēmas efektivitāti pusvadītāju ražošanā var sasniegt ar AFK-Lok plašo augstas kvalitātes vārstu, veidgabalu, regulatoru, šļūteņu un filtru klāstu.
Pasta laiks: oktobris-09-2023