Gāzu izmantošana pusvadītāju nozarē datēta ar 1950. gada sākumu līdz 1960. gadiem. Pusvadītāju ražošanas procesa laikā gāzes galvenokārt izmanto, lai notīrītu un aizsargātu pusvadītāju materiālus, lai nodrošinātu to tīrību un kvalitāti. Starp visbiežāk izmantotajām gāzēm ir slāpeklis un ūdeņradis.
Tā kā pusvadītāju tehnoloģija attīstījās un ražošanas procesi turpināja uzlaboties, palielinājās pieprasījums pēc gāzēm. 1970. gadā turpmāka pusvadītāju ražošanas tehnoloģijas attīstība, gāzu pielietošana galvenajos procesos, piemēram, pakāpeniski palielinājās plānu plēvju kodināšana un nogulsnēšanās, un fluora gāzes (piemēram, SF6) un skābeklis parasti izmantoja kodināšanas un nogulsnēšanas gāzes. 1980. gadā tika palielināts pieaugums pieprasījumam pēc gāzēm, attīstot integrētās shēmas un pieprasījuma pieaugumu pēc tām. Ūdeņradi plaši izmantoja ražošanas procesā, ieskaitot ūdeņraža atkvēlināšanu un ūdeņraža tvaiku nogulsnēšanos. Un no 1990. gada līdz mūsdienām ir palielinājies pieprasījums pēc augstas tīrības gāzēm un īpašām gāzēm, jo pusvadītāju ierīču lielums turpina sarukt un ieviest jaunus procesus. Piemēram, ekstrēmās ultravioletās litogrāfijas (EUV) pielietošanai ir jāizmanto ārkārtīgi augstas tīrības gāzes, piemēram, slāpeklis un ūdeņradis.
Pusvadītāju gāze turpina palielināties, tiek atklāts arvien vairāk un vairāk produktu vadītu produktu izstrāde, savukārt gāze arī pieder pie briesmu avota, tāpēc ir parādījušies produkti, ko izmanto gāzes dekompresijai, gāzes noteikšanas produktiem un novērš gāzes noplūdes produktus, piemēram, spiediena regulatori, gāzes vārsti, gāzes spiediena mērītāji, gāzes noplūdes noteikšana utt., Un to rindas ir šādas.
Spiediena regulatori: spiediena regulatori ir ierīces, ko izmanto gāzes spiediena kontrolei. Tie parasti sastāv no regulatora vārsta un spiediena sensora. Spiediena regulatori uzņem augsta spiediena gāzes ievadi un stabilizē izejas gāzes spiedienu, pielāgojot vārstu, lai tas atbilstu īpašām lietošanas prasībām. Spiediena regulatorus plaši izmanto tādās jomās kā rūpniecība, ražošana un laboratorijas, kā arī pusvadītāju nozarē, lai nodrošinātu gāzes piegādes stabilitāti un drošību.
Gāzes vārsti: gāzes vārsti tiek izmantoti, lai kontrolētu gāzu plūsmu un aizvērtu gāzes fragmentus. Viņiem parasti ir ieslēgšanas/izslēgšanas funkcija, kas atver vai aizver gāzes plūsmu. Ir dažāda veida gāzes vārsti, ieskaitot manuālus vārstus, elektriskos vārstus un pneimatiskos vārstus. Tos plaši izmanto gāzes sistēmās, lai kontrolētu gāzu plūsmu, spiedienu un plūsmas ātrumu.
Gāzes spiediena mērītāji: Gāzes spiediena līmeņa mērīšanai tiek izmantoti gāzes spiediena mērītāji. Parasti tos uzstāda kritiskās vietās gāzes sistēmās, lai uzraudzītu spiediena izmaiņas un nodrošinātu, ka tās ir drošās robežās. Gāzes spiediena mērītāji tiek plaši izmantoti rūpniecībā, ražošanā un laboratorijās, un ir iesaistīta arī pusvadītāju nozare.
Gāzes noplūdes detektori: Gāzes noplūdes detektorus izmanto, lai noteiktu noplūdes gāzes sistēmās. Viņi atklājGāzes noplūdes klātbūtne un skaņa ir trauksme, lai varētu veikt savlaicīgu darbību, lai novērstu noplūdes negadījumus. Gāzes noplūdes detektorus plaši izmanto rūpnieciskos, ķīmiskos, naftas un gāzes lietojumos, un ir iesaistīta arī pusvadītāju nozare.
Pasta laiks: 20.-2024. Februāris