Pieaugot pusvadītāju tirgus, tīrības un precizitātes standarti kļūst stingrāki. Viens no noteicošajiem pusvadītāju ražošanas kvalitātes faktoriem ir procesā izmantotās gāzes. Šīm gāzēm ir daudz lomu ražošanas procesā, ieskaitot:
Precizitātes procesa kontrole
Piesārņojuma novēršana
Metalurģiskā īpašuma uzlabošana
Lai efektīvi veiktu šīs lomas, gāzes piegādes un sadales sistēmai jābūt efektīvai. Pusvadītāju ražošanā izmantoto gāzes apstrādes sistēmu projektēšana ir jāatbalsta ar izturīgiem komponentiem un pielāgotiem komplektiem, lai nodrošinātu uzticamu un augstas kvalitātes pusvadītāju ražošanu.
Gāzes, ko izmanto pusvadītāju ražošanā
Pusvadītāju ražošanas procesam ir jāizmanto dažādas gāzes dažādos procesa posmos.
Kaut arī tādas parastās gāzes kā slāpeklis, ūdeņradis, argons un hēlijs var izmantot to tīrā formā, dažiem procesiem var būt nepieciešami specializēti maisījumi. Silāni vai siloksāni, heksafluorīdi, halogenīdi un ogļūdeņraži ir dažas no speciālajām gāzēm, ko izmanto pusvadītāju ražošanā. Daudzas no šīm gāzēm var būt bīstamas vai ļoti reaģējošas, radot izaicinājumus gāzes sistēmu komponentu atlasē un projektēšanā.
Šeit ir daži piemēri:
\ Ūdeņradis un hēlijs var viegli noplūst no cauruļvadu un montāžas sistēmām, pateicoties to mazajam atomu lielumam un svaram.
\ Silāni ir ļoti viegli uzliesmojoši un var spontāni sadedzināt (autoignītu) gaisā.
\ Slāpekļa difluorīds, ko izmanto nogulsnēšanās, kodināšanas un kameru tīrīšanas stadijās, kļūst par spēcīgu siltumnīcefekta gāzi, kad to noplūst vidē.
\ Ūdeņraža fluorīds (kodināšanas gāze) ir ļoti kodīgs pret metāla cauruļvadiem.
\ Trimetilgalliju un amonjaku var būt grūti apstrādāt - nelielas to temperatūras un spiediena prasību svārstības var ietekmēt nogulsnēšanās procesu.
Procesa apstākļu kontrolei, lai samazinātu šo gāzu negatīvo ietekmi, jābūt galvenajai prioritātei sistēmas projektēšanas laikā. Tikpat svarīgi ir izmantot augstākās kvalitātes komponentus, piemēram, AFK diafragmas vārstus, būvēšanas procesā.
Sistēmas dizaina izaicinājumu risināšana
Pusvadītāju pakāpes gāzes vairumā gadījumu ir ar augstu tīrību un nodrošina inertus apstākļus vai uzlabo reakcijas dažādos ražošanas procesa posmos, piemēram, kodināšanas un nogulsnēšanas gāzes. Šādu gāzu noplūdei vai piesārņošanai var būt negatīva ietekme. Tāpēc ir svarīgi, lai sistēmas komponenti būtu hermētiski noslēgti un izturīgi pret koroziju, kā arī tām ir gluda virsmas apdare (elektrolītiska pulēšana), lai nodrošinātu, ka nav iespējams piesārņot un ka var saglabāt īpaši augstu tīrības līmeni.
Turklāt dažas no šīm gāzēm var karsēt vai atdzesēt, lai sasniegtu vēlamos procesa apstākļus. Labi izolēti komponenti nodrošina temperatūras kontroli, kas ir kritiska, lai efektīvi veiktu galaproduktu.
Sākot no avota ieejas līdz lietošanas vietai, AFK plašais komponentu klāsts atbalsta īpaši augstas tīrības, temperatūras, spiediena un plūsmas kontroli, kas nepieciešama pusvadītāju tīrās telpās un vakuuma kamerās.
Izstrādātas sistēmas ar kvalitatīvām sastāvdaļām pusvadītāju fabos
Kvalitātes komponentu un dizaina optimizācijas loma ir kritiska, lai precīzi kontrolētu un drošu pusvadītāju ražošanu. Izmantotajiem komponentiem jābūt izturīgiem un bez noplūdes, lai atbilstu dažādiem procesa apstākļiem, kas nepieciešami dažādos ražošanas posmos. AFK augstas kvalitātes vārsti, veidgabali, regulatori, cauruļvadi un blīvēšanas iekavas ir raksturīgas šādas pazīmes:
Īpaši augsta tīrība
Bez noplūdes blīves
Temperatūras kontrolēta izolācija
Spiediena kontrole
Izturība pret koroziju
Elektrolītiskā pulēšanas apstrāde
Pasta laiks: oktobris-09-2023