Augstas tīrības gāzes cauruļvadu tehnoloģija ir svarīga augstas tīrības pakāpes gāzes apgādes sistēmas sastāvdaļa, kas ir galvenā tehnoloģija, lai piegādātu nepieciešamo augstas tīrības pakāpes gāzi lietošanas vietā un joprojām saglabātu kvalificētu kvalitāti;Augstas tīrības pakāpes gāzes cauruļvadu tehnoloģija ietver pareizu sistēmas projektēšanu, veidgabalu un piederumu izvēli, konstrukciju un uzstādīšanu, kā arī testēšanu.Pēdējos gados arvien stingrākas prasības attiecībā uz augstas tīrības pakāpes gāzu tīrību un piemaisījumu saturu mikroelektronikas izstrādājumu ražošanā, ko pārstāv liela mēroga integrālās shēmas, ir padarījušas augstas tīrības gāzu cauruļvadu tehnoloģiju arvien vairāk nobažītu un uzsvērtu.Tālāk ir sniegts īss pārskats par augstas tīrības pakāpes gāzes cauruļvadiem no materiālu izvēlesof būvniecība, kā arī pieņemšana un ikdienas vadīšana.
Parasto gāzu veidi
Elektronikas rūpniecībā izplatīto gāzu klasifikācija：
Parastās gāzes(Masveida gāze): ūdeņradis (H2), slāpeklis (N2), skābeklis (O2), argons (A2), utt.
Speciālās gāzesir SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… utt.
Speciālo gāzu veidus parasti var klasificēt kā kodīgasgāze, toksisksgāze, uzliesmojošsgāze, degošsgāze, inertsgāzeuc Parasti izmantotās pusvadītāju gāzes parasti klasificē šādi.
i) kodīgs/toksisksgāze: HCl, BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… utt.
(ii) Uzliesmojamībagāze: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO utt.
iii) uzliesmojamībagāze: O2, Cl2, N2O, NF3… utt.
(iv) Inertsgāze: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, Viņš… utt.
Daudzas pusvadītāju gāzes ir kaitīgas cilvēka ķermenim.Jo īpaši dažas no šīm gāzēm, piemēram, SiH4 spontāna aizdegšanās, kamēr noplūde spēcīgi reaģēs ar skābekli gaisā un sāks degt;un AsH3ļoti toksisks, jebkura neliela noplūde var izraisīt cilvēka dzīvības risku, tas ir šo acīmredzamo apdraudējumu dēļ, tāpēc sistēmas konstrukcijas drošības prasības ir īpaši augstas.
Gāzu pielietojuma joma
Gāzes produktus kā svarīgu mūsdienu rūpniecības pamatizejvielu plaši izmanto, un lielu skaitu parasto gāzu jeb speciālo gāzu izmanto metalurģijā, tērauda, naftas, ķīmiskajā rūpniecībā, mašīnbūvē, elektronikā, stiklā, keramikā, būvmateriālos, celtniecībā. , pārtikas pārstrādes, medicīnas un medicīnas nozarēs.Gāzes izmantošana īpaši ietekmē augsto tehnoloģiju šajās jomās, un tā ir neaizstājama gāzes izejviela vai procesa gāze.Tikai ar dažādu jaunu rūpniecības nozaru un moderno zinātņu un tehnoloģiju vajadzībām un popularizēšanu gāzes nozares produktus var attīstīt ar lēcieniem daudzveidības, kvalitātes un kvantitātes ziņā.
Gāzes pielietojums mikroelektronikā un pusvadītāju rūpniecībā
Gāzes izmantošanai vienmēr ir bijusi svarīga loma pusvadītāju procesā, jo īpaši pusvadītāju process ir plaši izmantots dažādās nozarēs, sākot no tradicionālās ULSI, TFT-LCD līdz pat pašreizējai mikroelektromehāniskās (MEMS) nozarei. kas izmanto tā saukto pusvadītāju procesu kā izstrādājumu ražošanas procesu.Gāzes tīrībai ir izšķiroša ietekme uz komponentu darbību un produktu iznākumu, un gāzes piegādes drošība ir saistīta ar personāla veselību un iekārtas darbības drošību.
Augstas tīrības pakāpes cauruļvadu nozīme augstas tīrības pakāpes gāzes transportēšanā
Nerūsējošā tērauda kausēšanas un materiāla izgatavošanas procesā uz tonnu var absorbēt aptuveni 200 g gāzes.Pēc nerūsējošā tērauda apstrādes ne tikai tā virsma bija lipīga ar dažādiem piesārņotājiem, bet arī tā metāla režģis absorbēja noteiktu daudzumu gāzes.Kad caur cauruļvadu ir gaisa plūsma, metāls absorbē šo gāzes daļu, kas atkal nonāks gaisa plūsmā, piesārņojot tīro gāzi.Kad gaisa plūsma caurulē ir nepārtraukta plūsma, caurule adsorbē gāzi zem spiediena, un, kad gaisa plūsma pārstāj iet, caurulē adsorbētā gāze veido spiediena kritumu, lai atrisinātu, un izšķīdinātā gāze arī nonāk tīrā gāzē caurulē. kā piemaisījumi.Tajā pašā laikā tiek atkārtota adsorbcija un izšķirtspēja, tā ka metāls uz caurules iekšējās virsmas rada arī noteiktu pulvera daudzumu, un šīs metāla putekļu daļiņas piesārņo arī tīro gāzi caurules iekšpusē.Šī caurules īpašība ir būtiska, lai nodrošinātu transportējamās gāzes tīrību, kas prasa ne tikai ļoti augstu caurules iekšējās virsmas gludumu, bet arī augstu nodilumizturību.
Ja tiek izmantota gāze ar spēcīgu koroziju, cauruļvadiem jāizmanto korozijizturīgas nerūsējošā tērauda caurules.Pretējā gadījumā caurules iekšējā virsmā korozijas dēļ veidosies korozijas plankumi, un nopietnos gadījumos būs liela metāla noslāņošanās vai pat perforācija, kas piesārņos sadalāmo tīro gāzi.
Augstas tīrības pakāpes un augstas tīrības gāzes pārvades un sadales ar lielu plūsmas ātrumu pieslēgšana.
Principā tās visas ir metinātas, un izmantotajām caurulēm, izmantojot metināšanu, nav jāmaina organizācija.Materiāli ar pārāk augstu oglekļa saturu metināšanas laikā ir pakļauti metināto detaļu gaisa caurlaidībai, kas rada savstarpēju gāzu iekļūšanu caurules iekšpusē un ārpusē un iznīcina pārvadītās gāzes tīrību, sausumu un tīrību, kā rezultātā tiek zaudēta visus mūsu centienus.
Rezumējot, augstas tīrības pakāpes gāzei un īpašajam gāzes pārvades cauruļvadam ir nepieciešams izmantot īpašu augstas tīrības pakāpes nerūsējošā tērauda cauruļu apstrādi, lai izveidotu augstas tīrības pakāpes cauruļvadu sistēmu (ieskaitot caurules, veidgabalus, vārstus, VMB, VMP) augstas tīrības pakāpes gāzes sadalei ir svarīga misija.
Tīras tehnoloģijas vispārīgā koncepcija pārvades un sadales cauruļvadiem
Ļoti tīra un tīra gāzes korpusa transmisija ar cauruļvadiem nozīmē, ka ir noteiktas prasības vai kontroles trīs transportējamās gāzes aspektiem.
Gāzes tīrība: piemaisījumu atmosfēras saturs gGāzes tīrība: piemaisījumu atmosfēras saturs gāzē, ko parasti izsaka procentos no gāzes tīrības, piemēram, 99,9999%, izsaka arī kā piemaisījumu atmosfēras satura tilpuma attiecību ppm, ppb, ppt.
Sausums: mikroelementa mitruma daudzums gāzē vai daudzums, ko sauc par mitrumu, parasti izteikts kā rasas punkts, piemēram, atmosfēras spiediena rasas punkts -70.C.
Tīrība: gāzē esošo piesārņojošo daļiņu skaits, daļiņu izmērs µm, cik daļiņu/M3 izteikt, saspiestam gaisam, parasti izteikts arī ar to, cik mg/m3 nenovēršamu cieto atlikumu, kas aptver eļļas saturu .
Piesārņojošo vielu lieluma klasifikācija: piesārņotāju daļiņas, galvenokārt attiecas uz cauruļvadu berzi, nodilumu, koroziju, ko rada metāla daļiņas, atmosfēras kvēpu daļiņas, kā arī mikroorganismi, fāgi un mitrumu saturoši gāzes kondensācijas pilieni utt., atkarībā no tā daļiņu izmēra. ir sadalīts
a) Lielas daļiņas – daļiņu izmērs virs 5μm
b) Daļiņa – materiāla diametrs starp 0,1μm-5μm
c) Ultra-mikro daļiņas – daļiņu izmērs ir mazāks par 0,1 μm.
Lai uzlabotu šīs tehnoloģijas pielietojumu, lai varētu uztvert uztveres izpratni par daļiņu izmēru un μm vienībām, atsaucei ir sniegts specifisku daļiņu statusa kopums.
Tālāk ir sniegts konkrētu daļiņu salīdzinājums
| Nosaukums/daļiņu izmērs (µm) | Nosaukums/daļiņu izmērs (µm) | Nosaukums/ daļiņu izmērs (µm) |
| Vīruss 0,003-0,0 | Aerosols 0,03-1 | Aerosolizēts mikropiliens 1-12 |
| Kodoldegviela 0,01-0,1 | Krāsa 0,1-6 | Litie pelni 1-200 |
| Oglekļa 0,01-0,3 | Piena pulveris 0,1-10 | Pesticīds 5-10 |
| Sveķi 0,01-1 | Baktērijas 0,3-30 | Cementa putekļi 5-100 |
| Cigarešu dūmi 0,01-1 | Smilšu putekļi 0,5-5 | Ziedputekšņi 10-15 |
| Silikona 0,02-0,1 | Pesticīds 0,5-10 | Cilvēka mati 50-120 |
| Kristalizēts sāls 0,03-0,5 | Koncentrēti sēra putekļi 1-11 | Jūras smiltis 100-1200 |
Publicēšanas laiks: 14. jūnijs 2022