Gāzes cauruļvadu tehnoloģija ar augstas tīrības pakāpi ir svarīga augstas tīrības pakāpes gāzes piegādes sistēmas sastāvdaļa, kas ir galvenā tehnoloģija, lai piegādātu nepieciešamo augstas tīrības gāzi līdz lietošanai un joprojām saglabātu kvalificētu kvalitāti; Gāzes cauruļvadu tehnoloģija ar augstas tīrības pakāpi ietver pareizu sistēmas dizainu, veidgabalu un piederumu izvēli, celtniecību un uzstādīšanu, kā arī testēšanu. Pēdējos gados arvien stingrākās prasības par augsta tīrības gāzu tīrības un piemaisījumu saturu mikroelektronikas produktu ražošanā, ko attēlo liela mēroga integrētās shēmas, ir licis arvien vairāk uztraukties un uzsvērtu augstas tīrības gāzu cauruļvadu tehnoloģiju. Šis ir īss pārskats par augstas tīrības gāzes cauruļvadiem no materiālu izvēlesof būvniecība, kā arī pieņemšana un ikdienas vadība.
Parasto gāzu veidi
Parasto gāzu klasifikācija elektronikas nozarē：
Parastās gāzes（Lielapjoma gāze）: ūdeņradis (h2), slāpeklis (n2), skābeklis (o2), Argons (a2), utt.
Speciālās gāzesir sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2cl2 SIHCL3,NH3, Bcelties3 ,Sife4 ,Clf3 ,Līdzdalība,C2F6, N2O,F2,Hf,HBR SF6…… utt.
Īpašo gāzu veidus parasti var klasificēt kā kodīgusgāze, toksisksgāze, uzliesmojošsgāze, degošsgāze, inertsgāzeutt. Parasti izmantotās pusvadītāju gāzes parasti klasificē šādi.
i) kodīgs / toksisksgāze: HCL, BF3, WF6, HBR, SIH2Cl2, NH3, Ph3, Cl2, Bcl3Utt.
(ii) Uzliesmojamībagāze: H2, Ch4, Sihs4, Ph3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,Cher3F, co… utt.
(iii) degamībagāze: O2, Cl2, N2O, nf3… Utt.
(iv) inertsgāze: N2, Sal.4, C2F6, C4F8,Sf6, CO2, Ne, kr, viņš… utt.
Daudzas pusvadītāju gāzes ir kaitīgas cilvēka ķermenim. Jo īpaši dažas no šīm gāzēm, piemēram, SIH4 Spontāna sadegšana, kamēr noplūde varētu vardarbīgi reaģēt ar skābekli gaisā un sāks sadedzināt; un pelni3Ļoti toksiska, jebkura neliela noplūde var izraisīt cilvēka dzīvības risku, tas notiek šo acīmredzamo briesmu dēļ, tāpēc prasības sistēmas projektēšanas drošībai ir īpaši augstas.
Gāzu pielietojuma apjoms
Kā svarīgu pamata izejvielu modernā rūpniecībā plaši tiek izmantoti gāzes produkti, un metalurģijas, tērauda, naftas, ķīmiskās rūpniecības, tehnikas, elektronikas, stikla, keramikas, celtniecības materiālu, celtniecības, pārtikas pārstrādes, medicīnas un medicīnas sektoru metalurģijas, keramikas, celtniecības materiālu, būvniecības, pārtikas pārstrādes, medicīnas un medicīnas sektoros tiek izmantots liels skaits parasto gāzu vai īpašas gāzes. Gāzes pielietošanai ir būtiska ietekme uz šo lauku augsto tehnoloģiju, un tā ir tā neaizstājamā izejvielu gāzes vai procesa gāze. Tikai ar dažādu jaunu rūpniecības nozares un mūsdienu zinātnes un tehnoloģijas vajadzībām un veicināšanu, gāzes nozares produktus var izstrādāt ar lēcieniem un robežām dažādības, kvalitātes un kvantitātes ziņā.
Gāzes pielietojums mikroelektronikā un pusvadītāju nozarē
Gāzes lietošanai vienmēr ir bijusi nozīmīga loma pusvadītāju procesā, jo īpaši pusvadītāju process ir plaši izmantots dažādās nozarēs, sākot no tradicionālās ULSI, TFT-LCD un beidzot ar pašreizējo mikroelektromehānisko (MEMS) nozari, un tas viss izmanto tā saukto pusvadītāju procesu kā produktu ražošanas procesu. Gāzes tīrībai ir izšķiroša ietekme uz komponentu un produktu ražas darbību, un gāzes piegādes drošība ir saistīta ar personāla veselību un rūpnīcu darbību drošību.
Augstas tīrības cauruļvadu nozīme augstas tīrības gāzes transportā
Nerūsējošā tērauda kausēšanas un izgatavošanas procesā apmēram 200 g gāzes var absorbēt uz tonnu. Pēc nerūsējošā tērauda apstrādes ne tikai tā virsmas lipīga ar dažādiem piesārņotājiem, bet arī tā metāla režģī arī absorbēja noteiktu daudzumu gāzes. Kad caur cauruļvadu ir gaisa plūsma, metāls absorbē šo gāzes daļu atkārtoti ievadīs gaisa plūsmu, piesārņojot tīru gāzi. Kad gaisa plūsma mēģenē ir pārtraukta plūsma, caurule adsorē gāzi zem spiediena, un, kad gaisa plūsma apstājas, caurulē adsorbētā gāze veido spiediena kritumu, lai atrisinātu, un izšķirtā gāze arī nonāk tīrā gāzē mēģenē kā impurācijas. Tajā pašā laikā atkārto adsorbciju un izšķirtspēju tā, ka metāls uz caurules iekšējās virsmas rada arī noteiktu pulvera daudzumu, un šīs metāla putekļu daļiņas arī piesārņo tīru gāzi caurulē. Šī caurules īpašība ir būtiska, lai nodrošinātu transportētās gāzes tīrību, kurai nepieciešama ne tikai ļoti augsta caurules iekšējās virsmas gludums, bet arī augsta nodiluma izturība.
Ja tiek izmantota gāze ar spēcīgu korozīvu veiktspēju, cauruļvadiem jāizmanto izturīgas izturīgas nerūsējošā tērauda caurules. Pretējā gadījumā caurule korozijas dēļ radīs korozijas plankumus uz iekšējās virsmas, un nopietnos gadījumos notiks liela metāla noņemšana vai pat perforācija, kas piesārņos izplatīto tīro gāzi.
Lielas plūsmas ātrumu augstas tīrības un augstas tīrīšanas gāzes pārraides un sadales cauruļvadu savienojums ar lielu plūsmas ātrumu.
Principā tie visi ir metināti, un izmantotajām caurulēm, kad metināšana tiek piemērota, nav jāmaina organizācijā. Materiāli ar pārāk augstu oglekļa saturu ir pakļauti metināto detaļu gaisa caurlaidībai, kas metina, kas padara gāzu savstarpēju iekļūšanu caurulē un ārpus tās un iznīcina pārraidītās gāzes tīrību, sausumu un tīrību, kā rezultātā tiek zaudēti visi mūsu centieni.
Rezumējot ar augstas tīrības pakāpes gāzes un īpašo gāzes pārraides cauruļvadu, ir jāizmanto īpaša apstrāde ar augstas tīrības līmeni no nerūsējošā tērauda caurules, lai izgatavotu augstas tīrības pakāpes cauruļvadu sistēmu (ieskaitot caurules, veidgabalus, vārstus, VMB, VMP) augstas iztikas gāzes sadalījumā, kas aizņem būtisku misiju.
Vispārīga tīra tehnoloģijas koncepcija pārraides un izplatīšanas cauruļvadiem
Ļoti tīra un tīra gāzes ķermeņa pārnešana ar cauruļvadiem nozīmē, ka trim transportējamas gāzes aspektiem ir noteiktas prasības vai kontroles.
Gāzes tīrība: piemaisījumu atmosfēras saturs GGA tīrībā: piemaisījumu atmosfēras saturs gāzē, kas parasti tiek izteikts procentos no gāzes tīrības, piemēram, 99,9999%, kas izteikts arī kā piemaisījumu atmosfēras satura PPM, PPB, ppt tilpuma attiecība.
Sausums: gāzes mitruma daudzums vai daudzums, ko sauc par mitrumu, parasti izteikts rasas punkta izteiksmē, piemēram, atmosfēras spiediena rasas punkts -70. C.
Tīrība: Gāzē esošo piesārņotāju daļiņu skaits, µM daļiņu lielums, cik daļiņu/m3, lai izteiktu saspiestu gaisu, parasti tiek izteikts arī ar to, cik daudz mg/m3 no nenovēršamiem cietām atlikumiem, kas aptver eļļas saturu, kas aptver eļļas saturu.
Pollutant size classification: pollutant particles, mainly refers to pipeline scouring, wear, corrosion generated by metal particles, atmospheric soot particles, as well as microorganisms, phages and moisture-containing gas condensation droplets, etc., according to the size of its particle size is divided into
a) Lielas daļiņas - daļiņu izmērs virs 5 μm
b) Daļiņa-materiāla diametrs starp 0,1μm-5μm
c) Ultra-Micro daļiņas-daļiņu izmērs, kas mazāks par 0,1 μm.
Lai uzlabotu šīs tehnoloģijas pielietojumu, lai varētu uztvert izpratni par daļiņu lielumu un μM vienībām, atsaucei ir paredzēts īpaša daļiņu statusa kopums
Šis ir īpašo daļiņu salīdzinājums
| Nosaukums /daļiņu izmērs (µm) | Nosaukums /daļiņu izmērs (µm) | Nosaukums/ daļiņu izmērs (µm) |
| Vīruss 0,003-0,0 | Aerosols 0,03-1 | Aerosolizēts mikroplets 1-12 |
| Kodoldegviela 0,01-0,1 | Krāsa 0,1-6 | Lido pelni 1-200 |
| Oglekļa melns 0,01-0,3 | Piena pulveris 0,1-10 | Pesticīds 5-10 |
| Sveķi 0,01-1 | Baktērijas 0,3-30 | Cementa putekļi 5-100 |
| Cigarešu dūmi 0,01-1 | Smilšu putekļi 0,5-5 | Ziedputekšņi 10-15 |
| Silikons 0,02-0,1 | Pesticīds 0,5-10 | Cilvēka mati 50-120 |
| Kristalizēts sāls 0,03-0,5 | Koncentrēti sēra putekļi 1-11 | Jūras smiltis 100-1200 |
Pasta laiks: jūnijs-14-2022